(一)核心功能气体深度净化:去除载气(氮气、氩气、氢气等)、反应气中的水分、氧气、二氧化碳、酸性 / 碱性气体、粉尘、油雾等杂质,满足 ICP-MS、GC-MS、半导体外延等高端实验的超纯气体需求。
尾气吸收:吸收化学反应产生的有毒、腐蚀性尾气(氯气、硫化氢、氯化氢等),实现无害化处理,保护实验人员与环境。
缓冲防护:作为瓶,防止实验装置倒吸,保障实验;同时可观察气体流量,辅助实验调控。
气体收集与计量:可用于收集纯净气体,配合液位刻度实现气体体积粗略计量。
(二)应用领域半导体与电子行业:超纯电子气体制备、晶圆制造工艺中的气体净化,杜绝杂质影响产品良率。
分析检测领域:ICP-MS、GC-MS、AAS、同位素检测等痕量分析实验,避免器皿污染干扰检测结果。
制药与生物实验室:无菌气体制备、合成中的腐蚀性气体处理,符合 GMP 洁净要求。
化工与材料研发:特种气体合成、腐蚀性气体反应、高纯材料制备中的气体纯化与尾气处理。
环境监测:废气采样前的气体净化,去除干扰杂质,保障监测数据准确。