前驱体吹扫瓶

（Precursor Purge Bottle / 也常叫 Bubbler Purge、惰性气体吹扫瓶、载气鼓泡瓶）一般用在 CVD / ALD / 半导体外延、气相沉积设备里，配合液体前驱体、易挥发固体前驱体源瓶使用，核心作用是：用惰性气体把管路里残留的前驱体蒸汽彻底吹扫干净，防止冷凝、堵塞、交叉污染。

产品性能

·耐 HF、卤化物、金属有机前驱体

·超低金属析出，符合半导体 / 光伏高纯要求

·半透明，能直接看气泡

·耐高温，可加热伴热，防止前驱体冷凝

·不吸附、不沾液，易清洗再生

·前驱体吹扫瓶：一般装惰性溶剂、空白液，或干脆空瓶仅作缓冲 / 鼓泡观察专门给吹扫气路使用，不参与反应成膜

适用工艺

·ALD / CVD 氟基前驱体吹扫

·半导体高纯氧化层、氮化物沉积

HF、含氟前驱体气路保护与吹扫

常见规格（实验室 / 小量产常用）

·100 mL / 250 mL / 500 mL / 1 L

·接口：1/4" PFA 接头、卡套、 flare 接头

·配套：PFA 管路、PFA 阀门、MFC 质量流量计

各部位按需定制4位/6位/8位